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                    常見曝光機舉例

                    目錄:常見問題點擊率:發布時間:2016-11-15 10:05:14

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                      紫外燈電源系統

                     

                      操作控制器

                     

                      350W紫外燈

                     

                      MDA-400M參數:

                     

                      晶片臺

                     

                      基底尺寸 標準尺寸 最大至4英寸;可選最大至6英寸;

                     

                      托盤 標準尺寸 最大至4英寸;可選最大至6英寸;

                     

                      活動范圍

                     

                      X:10mm Y: 10mm Z : 10mm Theta: 4 degree

                     

                      對準精度 1um

                     

                      擠入補償 Air bearing型

                     

                      Z軸滑動 手動

                     

                      真空泵 無油真空泵

                     

                      掩膜臺

                     

                      掩膜夾具類型 真空吸附和機械夾取

                     

                      紫外光源

                     

                      紫外燈 350 瓦

                     

                      均勻光束大小 4.25“ X 4.25“

                     

                      曝光模式 壓縮/真空/相鄰

                     

                      曝光時間控制 可編程控制型

                     

                      曝光定時器 1 ~ 999.9 秒

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